Aplicacions crítiques de semiconductors
Els nostres sistemes de generació de nitrogen admeten els processos de fabricació de semiconductors més exigents.
Fabricació d'hòsties
Nitrogen de puresa ultra-per al processament, neteja i manipulació d'hòsties per evitar l'oxidació i la contaminació durant els passos crítics de fabricació.
Deposició de vapor químic (CVD)
Atmosferes de nitrogen d'alta-puresa per a processos CVD, que garanteixen una deposició precisa de pel·lícula fina sense interferències d'oxigen ni impureses.
Gravat amb plasma
Atmosferes de nitrogen controlades per a processos de gravat per plasma, mantenint la transferència de patrons precisa i evitant l'oxidació no desitjada.
Soldadura de reflux
Atmosferes inerts de nitrogen per a la soldadura per reflux en l'envasament i el muntatge de xips, reduint l'oxidació i millorant la qualitat de la junta de soldadura.
Die Bonding
Cobriment de nitrogen durant els processos d'unió de matrius per evitar l'oxidació i assegurar una adherència òptima en les operacions d'envasament de semiconductors.
Pressurització en sala neta
Nitrogen d'alta -puresa per a la pressurització i la purga de sales netes, mantenint entorns-sense contaminació crítics per a la fabricació de semiconductors.
Per què escollir la-generació de nitrogen al lloc
Elimineu les dependències de la cadena de subministrament i reduïu els costos amb una producció de nitrogen fiable al lloc-.
Ultra-alta puresa
Aconseguiu una puresa de nitrogen fins a un 99,9999% amb la nostra tecnologia avançada PSA i sistemes de purificació opcionals, complint amb els estàndards més estrictes de la indústria de semiconductors.
Reducció de costos
Reduïu els costos de nitrogen fins a un 90% en comparació amb el lliurament de nitrogen líquid, amb un ràpid retorn de la inversió normalment aconseguit en 12-24 mesos per a operacions de semiconductors de gran volum.
Subministrament continu
Elimineu les interrupcions del subministrament i els retards en el lliurament amb la generació de nitrogen sota demanda les 24 hores del dia-, garantint una producció ininterrompuda de semiconductors.
Control de processos
Mantingueu un control precís de la puresa, el cabal i la pressió del nitrogen amb sistemes de control avançats basats en PLC-i monitorització-en temps real.
Millora de la seguretat
Eliminar els riscos associats a la manipulació i emmagatzematge de nitrogen líquid criogènic, millorant la seguretat en el lloc de treball a les instal·lacions de semiconductors.
Escalabilitat
Amplieu fàcilment la capacitat de producció de nitrogen a mesura que s'amplien les vostres operacions de fabricació de semiconductors, sense limitacions d'infraestructura.
Especificacions tècniques
Dissenyat per a la precisió i la fiabilitat en entorns de fabricació de semiconductors.
Nivells de puresa
- Alta puresa estàndard: 99,999% (5N) per a aplicacions generals de semiconductors
- Puresa ultra-alta: 99,9999% (6N) per a processos crítics de fabricació d'hòsties
- Purificació Deoxo opcional per als nivells d'oxigen<0.1 ppm
- Monitorització contínua de la puresa amb analitzador d'oxigen
Especificacions del sistema
- Caudals: 10-2000 Nm³/h (estàndard), capacitats més altes disponibles
- Pressió de funcionament: 4-10 bar(g), personalitzable per a requisits específics
- Punt de rosada: -40 graus a -70 graus (amb sistemes d'assecador opcionals)
- Control basat en PLC- amb pantalla tàctil HMI i registre de dades
Funcions avançades
- Funcionament automàtic amb una supervisió mínima necessària
- Capacitat de monitorització i diagnòstic remot
- Temps d'arrencada ràpid de 15-20 minuts
- Funcionament-eficient energètic amb baix consum d'energia
Compliment i estàndards
- Fabricació certificada ISO 9001:2015
- Compleix amb els estàndards SEMI per a equips de semiconductors
- Disseny i materials compatibles amb sala neta
- Suport integral de documentació i validació
A més del generador de nitrogen psa, també produïm generadors d'oxigen VPSA, generadors d'oxigen PSA, dipòsits d'emmagatzematge, intercanviadors de calor i altres productes. Si esteu interessats en sistemes de nitrogen psa o altres productes, no dubteu a enviar un correu electrònic asales@gneeheatex.com. Estarem molt contents d'atendre't.
